自从20世纪60时代世界上第一台激光器诞生以来，科研工作者对激光进行了多方面的研讨和使用。1963-1965年相继发明晰Co2激光器和YAG激光器，经过对激光的特性和襄光束与物质相互作用机理的深入研讨，激光技能的使用范畴开端不断清晰和具体化。

50多年来，激光技能及其使用开展迅猛，已与多个学科相结合形成多个使用技能范畴，如激光加工技能、激光检测与计量技能、激光化学、激光医疗、激光制导等。这些穿插技能与新的学科的呈现，极大地推动了传统产业和新兴产业的开展，同时赋予激光加工技能更广的使用范畴。

Co2激光器的结构从封离式、玻璃管结构开展到横向、纵向活动式和波导式；

1917年，爱因斯坦在量子理论的基础上提出：在物质与辐射场的相互作用中，构成物贡的原子或分子能够在光子的鼓励下发生光子的受激发射或吸收。这表明如果能使组成物质的原子（或分子）数目按能级的热平衡（玻耳兹曼）分布呈现回转，就有或许利用受激发射完成光扩大(Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation,LASER)，这就是激光的称号。后来理论物理学家发现了受激发射光子（波）和鼓励光子（波）具有相同的频率、方向、相位和偏振。这些都为激光的呈现（一种光波振荡器）奠定了理论基础。到1960年，其时美国休斯公司实验室的梅曼(Theodore H.Maiman)在量子电子学开展成果的基础上发明晰世界上第一台红宝石固态激光器(ruby laser)；1961年，德若凡发明晰第一台气体激光器——氦氖激光器；在1962年又呈现了半导体激光器；1963年，帕特尔(C．Patel)发明晰第一台co2激光器；1965年，贝尔实验室发明晰第一台YAG激光器；

跟着激光束与资料的相互作用研讨的开展，激光器的输出功率、稳定性和可靠性等的进步使其逐渐得到了实践使用，而且成为在工业生产中资料加工的重要分支。自从第一台激光器诞生以来，人们就开端探索激光在资料加工范畴中的使用。1965年前后，YGA激光器和Co2激光器相继呈现，因为这两种激光器能够发生适当高的输出功率和能量，便激光在资料加工范畴的使用成为或许。在2 0世纪7 0时代初期，跟着晶体资料质量的不断进步，聚光腔性能的改善，冷却系统和激光谐振腔结构的不断完善，使YAG激光器开端成为微型件切割、焊接、退火等的重要光源，并逐步在生产中得到使用。到70时代后期，Co2激光器的结构从封离式、玻璃管结构开展到横向、纵向活动式和波导式；同时鼓励方法从直流、交流中进行了改变。

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